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MF4000
微小量程-質量式氣體流量計 / 質量流量計 (Mass Flow Meter / Gas Flow Meter) |
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| MF4000 質量式氣體流量計/ 質量流量計 / 熱質式流量計 / 熱質式質量流量計 |
MF4000 MEMS質量式氣體流量計 / 質量流量計 / 熱質式流量計 / 熱質式質量流量計
MF4000 專為各類小流量氣體測量和過程控制設計，適用于各類清潔、干燥氣體。量程比達100:1，
配備多種輸出信號及通訊接口、LED顯示瞬時&累積流量，可替代容積式或壓差式的傳統流量計，接續管徑3mm、8mm
氧氣、氮氣、氦氣、氫氣、氬氣、壓縮氣體、甲烷、液化石油氣、天然氣...等
工業制造業的用氣測量及程控、
醫療設備 (如：醫療麻醉與呼吸設備、醫院供氧/制氧設備、分床計費系統)
環保領域、食品加工、科學氣體分析儀器、樓宇自控、保健設備...等
MEMS是將微電子技術與機械工程融合的一種工業技術；而MF系列氣體流量計采用MEMS芯片及專利的封裝技術，
相較于傳統的熱式質量流量計，MEMS質量流量計，體積更輕巧、壓力損失小、低功耗、響應速度快、測量結果更精確可靠
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| 質量式氣體流量計/質量流量計 技術參數 |
| 型號 |
MF4003 |
MF4008 |
口徑 |
3mm |
8mm |
| 最大流量(SLPM) |
2,3,4,5 |
10,20,30,40,50 |
| 量程比 |
100:1 |
| 精確值 |
±(1.5+0.2FS)% |
| 重復性 |
0.25% |
| 零點飄移 |
±30mV |
| 輸出飄移 |
±0.12% / ℃ |
| 響應時間 |
10ms(可調) |
電源 |
8~24VDC,50mA |
| 輸出信號 |
RS232、RS485、0.5~4.5VDC |
| 最大工作壓力 |
0.5MPa |
| 機械接口 |
BSPT 1/4(R1/4)或4mm、6mm、8mm快速接頭 |
| 工作溫度 |
-10?55℃ |
| 儲存溫度 |
-20?65℃ |
| 工作濕度 |
<95%RH(無結冰、無結露) |
| 應用環境 |
粒子計數器、各類分析儀器 |
麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等 |
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| 質量式氣體流量計/質量流量計 資料下載 |
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